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高温真空炉低真空和高真空
作者： 发布时间：2022-04-05 浏览次数：729
高温电炉真空系统
高温电炉中直空系统适用干真空度在3X10~~1333Pa范围的真空热处
理炉。中真空系统在真空热处理炉中应用最广泛，其通常由两级真空
泵机组组成。初级泵多采用旋转机械泵或滑阀式机械泵，主泵为机械
增压泵(罗茨泵)或油增压泵
高温电炉高真空系统
高真空系统适用于真空度在6.6x10~~1333X10。Pa范围的
高温电炉真空热处理炉，如真空退火炉、真空钎焊炉，通常由三级真空泵机组
组成，主泵通常采用油扩散泵、离子泵，初级泵大都也是采用旋转机
械泵或滑阀式机械泵。
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