真空炉的真空系统的三个基本要求;

1)能迅速地将真空热处理炉的真空度抽到规定的要求。

2)能及时排出被处理工件和炉内构件所释放出的各种气体，以及因

真空泄漏而渗入炉体内的气体。

3)真空机组占地面积小，运行安全可靠，操作简便。

真空系统的组成

真空炉的真空系统通常由真空获得设备(真空泵机组)、控

制真空组件和测量真空组件所组成。

1)真空泵机组。根据炉子工作压力和抽气量的大小，分别选配不同

的低真空泵、中真空泵、高真空泵和超高真空泵。

2)真空组件或元件。在真空炉体和真空泵机组之间配备的各种真空

组件或直字元件，如管路、密封圈、法兰、波纹管、冷阱、过滤器和

阀门等。

3)真空测量系统，如真空规管、真空压力表和其他真空测量仪表。

4)真空检漏仪器、真空控制仪器、充气装置等。