ITO导电膜玻璃制作流程
ITO导电膜玻璃的生产工艺流程可分为触摸屏以及LCD两类，其中LCD用ITO导电膜玻璃对AR玻璃除了增加TiO2、Nb2O5等多级镀膜流程外，还要改变工艺过程相关参数的控制标准。同时，由于产品规格不同，尤其是核心技术指标透过率、膜层电导率要求的不同，对导电玻璃膜层结构、镀膜流程以及镀膜技术要求也不尽相同。核心流程为：（1）切割、磨边：将采购的大片超薄玻璃（LCD显示行业大都使用的是厚度1.1mm以下的超薄玻璃）按客户需要切割成相应的尺寸，再将玻璃磨边倒角，以便后续工序中的操作安全和准确定位。
（2）原玻璃检验：将切割、磨边后的玻璃进行表观质量（划伤、点缺陷、磨边质量、几何尺寸等）检验，将不符合要求的玻璃挑出。（3）清洗：电子玻璃对表观的要求非常高，需要在净化环境中进行，因此在进行真空镀膜前，需将切割磨边好的玻璃进行清洗。玻璃基板的清洗工艺流程为：清洗液滚刷清洗→清洗液盘刷清洗→纯净水滚刷清洗→纯净水盘刷清洗→纯净水喷淋→热风吹干→送入超净间。经表观检验合格后，作为镀膜使用。（4）真空镀膜：将清洗后检验合格的玻璃装上镀膜车架，送入真空镀膜机进行镀膜。真空镀膜的工艺流程为：玻璃装片→根据产品要求调整设备工作参数（靶电压、电流、温度、工作节拍）→镀SiO2薄膜→镀ITO薄膜→卸片。（5）成品检验：根据产品质量标准，逐片检查成品表观质量，电气性能参数，并采用抽样检验的方法，将检验好的玻璃按客户要求包装，并做好标示，便于质量追踪检查。
